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liuyuexue

金虫 (小有名气)

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[求助] 两个纳米压痕曲线已有1人参与

用磁控溅射在Si衬底上长得金属薄膜,厚度400纳米左右,用纳米压痕测试硬度.第一个是没处理的薄膜硬度随压入深度的变化,,第二个是离子注入后薄膜硬度.为什么前100纳米,曲线不一样呢,这个是有什么引起的.我知道前几十纳米是不稳定区,有尺寸效应影响,但是这个影响对两个样品应该一样啊.可曲线的形状完全不一样,所以不知道这两种形状是怎样引起的.

A0.jpg

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tomorrowisanotherday

1楼 2014-12-05 15:30:31

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liuyuexue

金虫 (小有名气)

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引用回帖:

2楼: Originally posted by TaoGG at 2014-12-10 14:46:44
离子注入后，表面强化，硬度增加了。纳米压痕最大压入深度为膜层厚度5%~20%，你的400nm后，超过80~100nm的压入深度后就不准了，无论是1还是2图，都最后慢慢趋近于10GPa，这是因为单晶硅片的硬度在10GPa左右。图1起始 ...

谢谢这么详细的解答.但是我很费解为什么这两个曲线开始的形状不一样