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liuyuexue金虫 (小有名气)
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两个纳米压痕曲线 已有1人参与
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用磁控溅射在Si衬底上长得金属薄膜,厚度400纳米左右,用纳米压痕测试硬度.第一个是没处理的薄膜硬度随压入深度的变化,,第二个是离子注入后薄膜硬度.为什么前100纳米,曲线不一样呢,这个是有什么引起的.我知道前几十纳米是不稳定区,有尺寸效应影响,但是这个影响对两个样品应该一样啊.可曲线的形状完全不一样,所以不知道这两种形状是怎样引起的. A0.jpg  A1.jpg |
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