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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » PMGI 和S1805光刻胶稀释液
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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] PMGI 和S1805光刻胶稀释液 已有2人参与

大家好，请问PMGI 和S1805光刻胶稀释液各是什么？PMGI可以和AR P3170系列光刻胶实现双层胶剥离工艺吗？（注，我的工艺顺序：1）coating光刻胶，2）coating PMGI，）3）通过特殊掩膜板对光刻胶曝光，4）去除PMGI并显影）
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1楼 2014-11-27 23:30:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊，溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA
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5楼2014-11-28 11:54:12
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木星人士

新虫 (正式写手)
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[ 发自小木虫客户端 ]
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3楼2014-11-28 07:40:50
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-28 11:54:12
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊，溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA

谢谢您的多次回复！我上午花时间查了，对于PMGI，我没查到。
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6楼2014-11-28 12:28:31
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木星人士

新虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-28 11:54:12
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊，溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA

您好！稀释PMGI光刻胶，可以用该公司的G THINNER吗？它的成分是Cyclopentanone和Propylene Glycol Methyl Ether. 和这种光刻胶中溶剂成分有些不同。

[ 发自小木虫客户端 ]
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7楼2014-12-02 16:07:13
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