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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] PMGI 和S1805光刻胶稀释液 已有2人参与

大家好,请问PMGI 和S1805光刻胶稀释液各是什么?PMGI可以和AR P3170系列光刻胶实现双层胶剥离工艺吗?(注,我的工艺顺序:1)coating光刻胶,2)coating PMGI,)3)通过特殊掩膜板对光刻胶曝光,4)去除PMGI并显影)
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木星人士

新虫 (正式写手)

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[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2014-11-28 07:40:50
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊,溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA
5楼2014-11-28 11:54:12
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木星人士

新虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-28 11:54:12
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊,溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA

谢谢您的多次回复!我上午花时间查了,对于PMGI,我没查到。
6楼2014-11-28 12:28:31
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木星人士

新虫 (正式写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-11-28 11:54:12
你这是一点儿都不想动脑子的节奏啊…………
网上查MSDS啊,溶剂是啥一下就查到了…………
PMGI
Cyclopentanone (CAS: 120-92-3); 65-85%.
Tetrahydrofurfuryl alcohol (CAS: 97-99-4); 10-15%

S1805
PGMEA

您好!稀释PMGI光刻胶,可以用该公司的G THINNER吗?它的成分是Cyclopentanone和Propylene Glycol Methyl Ether. 和这种光刻胶中溶剂成分有些不同。

[ 发自小木虫客户端 ]
7楼2014-12-02 16:07:13
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