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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 商用透明导电氧化物薄膜的膜厚一般是多少？
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kbdwnwnysn

木虫 (初入文坛)

[求助] 商用透明导电氧化物薄膜的膜厚一般是多少？已有2人参与

最近在做TCO薄膜，发现增加薄膜厚度时，薄膜的导电性能变好，但透光性能变差，且透过率曲线出现波动。
请问，透过率曲线出现波动是薄膜干涉造成的吗？商用的TCO薄膜的膜厚一般是多少？
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Stayhungy,stayfoolish!
1楼2014-11-19 13:41:48
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kbdwnwnysn: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-20 16:52:43
是因为薄膜的干涉引起的。商用的TCO厚度要看是做什么用的，如果用在LCD上的话，一般在几十个纳米，在太阳电池上的话，可以上千纳米，另外还需要看是什么材料
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用绳命来搞科研
2楼2014-11-19 14:25:19
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
kbdwnwnysn: 金币+5, ★★★很有帮助 2014-11-20 16:52:55
要看什么材料的，也要看什么用途了；
ITO薄膜，在50~200nm之间；
FTO薄膜，500nm以上
AZO薄膜，120~1000nm
透射谱随波长变化，这时薄膜干涉的结果，具体理论请参考唐晋发等《现代光学薄膜技术》里面的基础知识
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3楼2014-11-19 21:10:21
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kbdwnwnysn

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2014-11-19 14:25:19
是因为薄膜的干涉引起的。商用的TCO厚度要看是做什么用的，如果用在LCD上的话，一般在几十个纳米，在太阳电池上的话，可以上千纳米，另外还需要看是什么材料

多谢
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Stayhungy,stayfoolish!
4楼2014-11-20 16:50:26
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kbdwnwnysn

木虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by caoxiafei at 2014-11-19 21:10:21
要看什么材料的，也要看什么用途了；
ITO薄膜，在50~200nm之间；
FTO薄膜，500nm以上
AZO薄膜，120~1000nm
透射谱随波长变化，这时薄膜干涉的结果，具体理论请参考唐晋发等《现代光学薄膜技术》里面的基础知识

非常感谢！
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Stayhungy,stayfoolish!
5楼2014-11-20 16:56:31
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