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如何测量离子注入后的表面电阻率?
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| 我想对金属离子注入陶瓷后的表面电阻率进行测量,注入深度在亚微米,能否采用四探针测试仪?请问各位虫友采用什么测试仪器?具体型号是什么? |
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