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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

[求助] 求助XRD分析

各位虫友,能不能帮忙分析一下XRD分析的结果呢?样品是在硅圆上制作的,分别为溅射的铜层和电镀的铜层。
样品是在二氧化硅上溅射的Ti/Cu(20/500nm),然后刻蚀掉部分Ti/Cu,得到有图案的线路,想用XRD分析溅射的铜层和电镀的铜层上的晶面指向的趋势性。
但是两个XRD都有不太明白的地方,第一个样品是在溅射铜上扫描的,里面有几个峰始终找不到对应的元素。
第二个样品好很多了,对应的电镀Cu的三个峰,但是从左向右数第三个峰也没有找到对应的分析,希望各位虫友能够帮忙。
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