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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助XRD分析
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

[求助] 求助XRD分析

各位虫友，能不能帮忙分析一下XRD分析的结果呢？样品是在硅圆上制作的，分别为溅射的铜层和电镀的铜层。
样品是在二氧化硅上溅射的Ti/Cu(20/500nm)，然后刻蚀掉部分Ti/Cu，得到有图案的线路，想用XRD分析溅射的铜层和电镀的铜层上的晶面指向的趋势性。
但是两个XRD都有不太明白的地方，第一个样品是在溅射铜上扫描的，里面有几个峰始终找不到对应的元素。
第二个样品好很多了，对应的电镀Cu的三个峰，但是从左向右数第三个峰也没有找到对应的分析，希望各位虫友能够帮忙。
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1楼 2014-11-10 21:41:27
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