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菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少？ 已有1人参与
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问了一些厂家，都只能做20或30微米的。 想做一些10微米左右的结构，结构很简单，精度要求也不是很高，用cr版太贵了，哪里能做？ |
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3楼2015-12-09 16:39:35
lee0803
木虫 (小有名气)
- 应助: 34 (小学生)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
2楼2014-11-06 18:16:47
