24小时热门版块排行榜    

查看: 3742  |  回复: 2
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

wdazhi

银虫 (初入文坛)

[求助] 菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少? 已有1人参与

问了一些厂家,都只能做20或30微米的。
想做一些10微米左右的结构,结构很简单,精度要求也不是很高,用cr版太贵了,哪里能做?
回复此楼

» 本帖@通知

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

复习全书

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-06 18:16:47
你可以问问深圳路维,他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸,使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版,怕光刻的图形也不好啊。

我打电话给深圳路维,路维说菲林只能做50um的线
3楼2015-12-09 16:39:35
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答

lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你可以问问深圳路维,他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸,使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版,怕光刻的图形也不好啊。
2楼2014-11-06 18:16:47
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见