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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少？
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wdazhi

银虫 (初入文坛)

[求助] 菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少？ 已有1人参与

问了一些厂家，都只能做20或30微米的。
想做一些10微米左右的结构，结构很简单，精度要求也不是很高，用cr版太贵了，哪里能做？
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@yswyx

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1楼 2014-11-06 12:58:47
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你可以问问深圳路维，他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸，使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版，怕光刻的图形也不好啊。
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2楼2014-11-06 18:16:47
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复习全书

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-06 18:16:47
你可以问问深圳路维，他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸，使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版，怕光刻的图形也不好啊。

我打电话给深圳路维，路维说菲林只能做50um的线
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3楼2015-12-09 16:39:35
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