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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wdazhi

银虫 (初入文坛)

[求助] 菲林掩膜板的最小尺寸精度是多少? 已有1人参与

问了一些厂家,都只能做20或30微米的。
想做一些10微米左右的结构,结构很简单,精度要求也不是很高,用cr版太贵了,哪里能做?
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你可以问问深圳路维,他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸,使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版,怕光刻的图形也不好啊。
2楼2014-11-06 18:16:47
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复习全书

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-06 18:16:47
你可以问问深圳路维,他们专门做Mask的。
一般20um以上的尺寸,使用菲林版才比较靠谱。10um就算做出菲林版,怕光刻的图形也不好啊。

我打电话给深圳路维,路维说菲林只能做50um的线
3楼2015-12-09 16:39:35
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