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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 紫外光刻后图形边缘有锯齿，如何分析原因？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

[求助] 紫外光刻后图形边缘有锯齿，如何分析原因？ 已有3人参与

小弟紫外光刻新手。
光刻后显微镜检查图形，发现有几个比较明显问题。
1、我的图形是圆形和方形，方向的边缘有的地方会出现锯齿状，圆形的部分图形边缘也会有类似锯齿的小坑洞。
检查了一下掩膜版，虽然掩膜版表面好像有些沾污，有一些瑕疵，但是不像光刻后的那么规则。
2、我的圆形，光刻完后在显微镜下看，圆的中心有一个小圆点，好像是孔。

另外紫外曝光后显影之前需要烤片吗？

再另外，掩膜版一般沾污，比如粘光刻胶后，怎么清洗。能用食人鱼泡吗？在微电子所做的掩膜版，也不知道是什么金属，铬吗？
我用丙酮泡了几个小时，然后酒精，去离子水，氮气吹。但是发现有的地方粘的光刻胶洗不掉。显微镜下看，觉得有的地方比较脏，有污点。

我老板说，他在国外，人家组里都是用掩膜版直接放在烤过的片子上，然后直接用紫外灯光刻，都比我用光刻机做的好，而且掩膜版从来都不洗，还不是在超净室里用。。。我感觉很忧桑。。。
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Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
1楼 2014-11-04 19:53:13
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2014-11-06 08:57:23
初步估计是光刻版与胶片之间距离太长导致光衍射造成；如果确定已经完全接触好，就要优化曝光时间和显影时间是不是超了太多！ 另外从圆形图案有些地方有有些地方没有来看，应该是曝光不均匀导致！上个图就好整！工艺参数要不要无所谓！
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11楼2014-11-06 08:33:55
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
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2楼2014-11-04 21:38:08
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
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3楼2014-11-05 08:13:38
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
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4楼2014-11-05 15:14:13
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-11-06 08:56:57
你这什么条件都不说，怎么给你分析？你起码要告诉光刻胶，光刻条件啊。你的胶如果很厚的话，是必须要在显影之前后烘的，冷却后再显影。至于锯齿状，有可能就是你没有后烘，驻波效应导致的。或者你的片子没洗干净，有钻蚀。
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
5楼2014-11-05 16:07:30
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
5楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-11-05 16:07:30
你这什么条件都不说，怎么给你分析？你起码要告诉光刻胶，光刻条件啊。你的胶如果很厚的话，是必须要在显影之前后烘的，冷却后再显影。至于锯齿状，有可能就是你没有后烘，驻波效应导致的。或者你的片子没洗干净，有 ...

抱歉，信息没写全。。。
光刻胶S1813，显影液MF-319.
光刻流程：
蒸镀HMDS
甩胶3000转30s
软烤1min
光刻机是MDA-400M，具体的曝光量就不懂在哪看了。（曝光量越大，越容易显影？）
显影75s
煎片30s
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6楼2014-11-05 16:26:29
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zionslm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-11-06 08:57:06
掩膜板应该是铬金属。你说的图形不对，是不是用的非接触曝光？应该用真空接触曝光会好。显影前一般有前烘的，根据光刻胶说明书做。
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7楼2014-11-05 16:49:09
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
7楼: Originally posted by zionslm at 2014-11-05 16:49:09
掩膜板应该是铬金属。你说的图形不对，是不是用的非接触曝光？应该用真空接触曝光会好。显影前一般有前烘的，根据光刻胶说明书做。

我的那个光刻机应该是接触曝光的。
先是硬接触，然后真空接触。
我现在是怀疑掩膜版有问题，但是不知道怎么洗。
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8楼2014-11-05 16:54:20
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zionslm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
8楼: Originally posted by wj0702114081 at 2014-11-05 16:54:20
我的那个光刻机应该是接触曝光的。
先是硬接触，然后真空接触。
我现在是怀疑掩膜版有问题，但是不知道怎么洗。...

那就在显微镜下看看掩膜板呗。用热丙酮清洗掩膜板。
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9楼2014-11-05 20:53:33
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶
引用回帖:
9楼: Originally posted by zionslm at 2014-11-05 20:53:33
那就在显微镜下看看掩膜板呗。用热丙酮清洗掩膜板。...

我用丙酮泡了泡，粘的光刻胶洗不掉。而且是在超净室外洗的，灰尘不可避免。我再试试。谢谢。
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10楼2014-11-05 21:18:44
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