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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
wj0702114081: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2014-11-06 08:57:23
初步估计是光刻版与胶片之间距离太长导致光衍射造成;如果确定已经完全接触好,就要优化曝光时间和显影时间是不是超了太多! 另外从圆形图案有些地方有有些地方没有来看,应该是曝光不均匀导致!上个图就好整!工艺参数要不要无所谓!
11楼2014-11-06 08:33:55
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

引用回帖:
11楼: Originally posted by babyoflion at 2014-11-06 08:33:55
初步估计是光刻版与胶片之间距离太长导致光衍射造成;如果确定已经完全接触好,就要优化曝光时间和显影时间是不是超了太多! 另外从圆形图案有些地方有有些地方没有来看,应该是曝光不均匀导致!上个图就好整!工艺 ...

是该上个图的,奈何我脑子不转圈,做完结果不好就给洗了。。。
实在抱歉。
十分感谢。
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
12楼2014-11-06 08:56:30
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

结贴了,问题准备不周,图也没拍。
我自己再摸索摸索。之前做的结果挺好的,后来不知道怎么回事就重复不出来了。
感谢各位的回复。
Running is often just a way for a mediocre player to cover up the fact that he can't really play.
13楼2014-11-06 08:58:39
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冰糖沙橘

铜虫 (小有名气)

我们实验室的光刻板是铬版,用的食人鱼溶液洗的
14楼2021-12-08 20:17:00
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