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babyoflion

金虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wj0702114081: 金币+3, ★★★★★最佳答案 2014-11-06 08:57:23

初步估计是光刻版与胶片之间距离太长导致光衍射造成；如果确定已经完全接触好，就要优化曝光时间和显影时间是不是超了太多！另外从圆形图案有些地方有有些地方没有来看，应该是曝光不均匀导致！上个图就好整！工艺参数要不要无所谓！

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11楼2014-11-06 08:33:55

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wj0702114081

金虫 (正式写手)

学神的奴隶

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引用回帖:

11楼: Originally posted by babyoflion at 2014-11-06 08:33:55
初步估计是光刻版与胶片之间距离太长导致光衍射造成；如果确定已经完全接触好，就要优化曝光时间和显影时间是不是超了太多！另外从圆形图案有些地方有有些地方没有来看，应该是曝光不均匀导致！上个图就好整！工艺 ...

是该上个图的，奈何我脑子不转圈，做完结果不好就给洗了。。。
实在抱歉。
十分感谢。

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