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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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紫外光刻后图形边缘有锯齿，如何分析原因？ 已有3人参与
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小弟紫外光刻新手。 光刻后显微镜检查图形，发现有几个比较明显问题。 1、我的图形是圆形和方形，方向的边缘有的地方会出现锯齿状，圆形的部分图形边缘也会有类似锯齿的小坑洞。 检查了一下掩膜版，虽然掩膜版表面好像有些沾污，有一些瑕疵，但是不像光刻后的那么规则。 2、我的圆形，光刻完后在显微镜下看，圆的中心有一个小圆点，好像是孔。 另外紫外曝光后显影之前需要烤片吗？ 再另外，掩膜版一般沾污，比如粘光刻胶后，怎么清洗。能用食人鱼泡吗？在微电子所做的掩膜版，也不知道是什么金属，铬吗？ 我用丙酮泡了几个小时，然后酒精，去离子水，氮气吹。但是发现有的地方粘的光刻胶洗不掉。显微镜下看，觉得有的地方比较脏，有污点。 我老板说，他在国外，人家组里都是用掩膜版直接放在烤过的片子上，然后直接用紫外灯光刻，都比我用光刻机做的好，而且掩膜版从来都不洗，还不是在超净室里用。。。我感觉很忧桑。。。 |
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