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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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faybin

银虫 (小有名气)

[交流] 硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区?

求教各位大神:
我拿HF酸+硝酸银的腐蚀液对硅片进行腐蚀,拿超景深显微镜观察硅片表面(原抛光面)。在表面上由于腐蚀的各向异性出现了腐蚀坑。
我的问题是:为什么在超景深显微镜下,硅片上有的区域较亮,有的区域较暗呢?

硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区?
硅片腐蚀图.jpg
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
帮顶一下,不懂 ~~~~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
4楼2014-11-05 07:14:33
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查看全部 11 个回答

张三的歌

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HF酸+硝酸银,会在硅片表面形成大量银颗粒吧
我愿化生石桥,受五百年风吹,五百年日晒,五百年雨淋,只愿你从桥上走过
2楼2014-11-04 21:47:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
凹凸起伏, 对光的反射不均匀,反射角度不一致,会导致这个现象,
你旋转一下样品,从同一个角度可以发现相同的地方光亮会变化。
3楼2014-11-05 01:30:18
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faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 张三的歌 at 2014-11-04 21:47:30
HF酸+硝酸银,会在硅片表面形成大量银颗粒吧

银颗粒用硝酸洗掉了。。。你的意思是说亮区是因为银颗粒的反射?
5楼2014-11-08 16:13:39
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