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faybin

银虫 (小有名气)

[交流] 硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区?

求教各位大神:
我拿HF酸+硝酸银的腐蚀液对硅片进行腐蚀,拿超景深显微镜观察硅片表面(原抛光面)。在表面上由于腐蚀的各向异性出现了腐蚀坑。
我的问题是:为什么在超景深显微镜下,硅片上有的区域较亮,有的区域较暗呢?

硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区?
硅片腐蚀图.jpg
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张三的歌

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
HF酸+硝酸银,会在硅片表面形成大量银颗粒吧
我愿化生石桥,受五百年风吹,五百年日晒,五百年雨淋,只愿你从桥上走过
2楼2014-11-04 21:47:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
送红花一朵
凹凸起伏, 对光的反射不均匀,反射角度不一致,会导致这个现象,
你旋转一下样品,从同一个角度可以发现相同的地方光亮会变化。
3楼2014-11-05 01:30:18
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
帮顶一下,不懂 ~~~~~~~~~~~~~
自强不息,厚德载物;独立精神,自由思想。
4楼2014-11-05 07:14:33
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faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 张三的歌 at 2014-11-04 21:47:30
HF酸+硝酸银,会在硅片表面形成大量银颗粒吧

银颗粒用硝酸洗掉了。。。你的意思是说亮区是因为银颗粒的反射?
5楼2014-11-08 16:13:39
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faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by cord at 2014-11-05 01:30:18
凹凸起伏, 对光的反射不均匀,反射角度不一致,会导致这个现象,
你旋转一下样品,从同一个角度可以发现相同的地方光亮会变化。

谢谢,那么是亮的地方是相对深一点呢还是浅一点呢?
6楼2014-11-08 16:14:42
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exciting73

金虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问腐蚀的是单晶还是多晶会出现这样的结果?
7楼2014-11-11 11:55:12
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faybin

银虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-11 11:55:12
请问腐蚀的是单晶还是多晶会出现这样的结果?

腐蚀的是单晶硅片
8楼2014-11-12 07:39:20
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exciting73

金虫 (著名写手)


商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
8楼: Originally posted by faybin at 2014-11-12 07:39:20
腐蚀的是单晶硅片...

可以做下电镜或原子力显微镜吗
9楼2014-11-13 08:53:59
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lyjm666

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
光照不均,样品表面凹凸,光照角度不一,我知道一款超景深显微镜有HDR技术,光照非常均匀。应该可以解决这个问题。
10楼2018-04-09 11:23:38
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