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硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区?
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求教各位大神: 我拿HF酸+硝酸银的腐蚀液对硅片进行腐蚀,拿超景深显微镜观察硅片表面(原抛光面)。在表面上由于腐蚀的各向异性出现了腐蚀坑。 我的问题是:为什么在超景深显微镜下,硅片上有的区域较亮,有的区域较暗呢? 硅片腐蚀图.jpg |
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2楼2014-11-04 21:47:30
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阿Q~~
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9楼2014-11-13 08:53:59
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