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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区？
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faybin

银虫 (小有名气)

[交流] 硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区？

求教各位大神：
我拿HF酸+硝酸银的腐蚀液对硅片进行腐蚀，拿超景深显微镜观察硅片表面（原抛光面）。在表面上由于腐蚀的各向异性出现了腐蚀坑。
我的问题是：为什么在超景深显微镜下，硅片上有的区域较亮，有的区域较暗呢？

硅片在腐蚀后在光镜下为什么形成亮区和暗区？
硅片腐蚀图.jpg
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cord

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1楼 2014-11-03 15:30:20
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张三的歌

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
HF酸+硝酸银，会在硅片表面形成大量银颗粒吧
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我愿化生石桥，受五百年风吹，五百年日晒，五百年雨淋，只愿你从桥上走过
2楼2014-11-04 21:47:30
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
送红花一朵
凹凸起伏， 对光的反射不均匀，反射角度不一致，会导致这个现象，
你旋转一下样品，从同一个角度可以发现相同的地方光亮会变化。
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3楼2014-11-05 01:30:18
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阿Q~~

至尊木虫 (文坛精英)
★
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帮顶一下，不懂 ~~~~~~~~~~~~~
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自强不息，厚德载物；独立精神，自由思想。
4楼2014-11-05 07:14:33
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faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 张三的歌 at 2014-11-04 21:47:30
HF酸+硝酸银，会在硅片表面形成大量银颗粒吧

银颗粒用硝酸洗掉了。。。你的意思是说亮区是因为银颗粒的反射？
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5楼2014-11-08 16:13:39
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faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cord at 2014-11-05 01:30:18
凹凸起伏， 对光的反射不均匀，反射角度不一致，会导致这个现象，
你旋转一下样品，从同一个角度可以发现相同的地方光亮会变化。

谢谢，那么是亮的地方是相对深一点呢还是浅一点呢？
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6楼2014-11-08 16:14:42
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
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请问腐蚀的是单晶还是多晶会出现这样的结果？
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7楼2014-11-11 11:55:12
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faybin

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by exciting73 at 2014-11-11 11:55:12
请问腐蚀的是单晶还是多晶会出现这样的结果？

腐蚀的是单晶硅片
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8楼2014-11-12 07:39:20
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exciting73

金虫 (著名写手)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
8楼: Originally posted by faybin at 2014-11-12 07:39:20
腐蚀的是单晶硅片...

可以做下电镜或原子力显微镜吗
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9楼2014-11-13 08:53:59
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lyjm666

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
光照不均，样品表面凹凸，光照角度不一，我知道一款超景深显微镜有HDR技术，光照非常均匀。应该可以解决这个问题。
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10楼2018-04-09 11:23:38
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