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chenglzu至尊木虫 (著名写手)
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纳米微结构制作的问题 已有3人参与
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| 最近因实验需要，希望能在硅片上制作一种纳米光栅和点阵结构，周期大概为400 nm左右，面积为2*2cm2左右，请问采用什么刻蚀方法性价比较高？还有那个地方可以提供这种加工服务？谢谢啦 |
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chenglzu
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3楼2014-10-30 08:17:32
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