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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 如何表征硅芯片OISF( Oxidation Induced Stacking Fault)
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vincent9277

铁虫 (小有名气)

[求助] 如何表征硅芯片OISF( Oxidation Induced Stacking Fault)

大家是否知道这种缺陷如何测试，有哪家单位可以做？主要想看下芯片漏电点内部是否有这种位错缺陷。

谢谢
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1楼 2014-10-29 10:15:25
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zhongzheng01

铁杆木虫 (文坛精英)
祝福楼主
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2楼2014-10-29 10:29:19
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