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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】真空镀膜方法包括哪几种？
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gryphon

[交流] 【请教】真空镀膜方法包括哪几种？

书上说,光学薄膜几乎都采用真空镀膜方法,真空镀膜方法具体包括哪几种呢?是不是仅物理气相沉积(PVD)方法
谢谢赐教！

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:17 ]
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1楼 2008-05-06 21:15:50
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everchan

木虫 (正式写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):这是最基本的分类 4-26 14:24
There are two main categories:
PVD (evaporate, sputtering...)
CVD (PCVD, MOCVD...)
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2楼2008-05-06 21:20:33
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gryphon

Are you sure?
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3楼2008-05-06 21:22:26
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
pvd cvd（pecvd） 蒸发 溅射 分子束外延 等
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
4楼2008-05-07 08:07:34
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师
★ ★ ★
ufoer(金币+3,VIP+0):欢迎老师指点！^_^ 4-26 14:24
化学方法：CVD，热生长，LB膜法等等，当然CVD还可以分成好几类
物理方法：主要是PVD方法，包括真空蒸发，溅射镀膜，离子镀膜，还可以把分子束外延（MBE）也归进来
非专业人士，如有不妥，谅解
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这个家伙很懒，什么也没有留下
5楼2008-05-07 14:05:23
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changxin78

铁虫 (初入文坛)

真空镀膜技术

★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 4-26 14:24
成都齐兴真空镀膜技术公司拥有蒸发镀膜技术；磁控溅射镀膜技术；直流、射频、中频磁控溅射镀膜技术；多弧离子镀膜技术；等离子改性技术；等离子体扩渗技术等镀膜技术
http://www.qxvacuum.com
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齐兴真空镀膜
6楼2009-04-26 09:24:22
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健康2008

新虫 (初入文坛)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):鼓励新虫 4-26 14:25
电子束蒸发、真空热蒸镀
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7楼2009-04-26 09:45:54
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ibanboo

银虫 (小有名气)
★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
真空镀膜基本上分两大类：化学气相沉积和物理气相沉积。
化学气相沉积是一种化学气相生长法，简称CVD(Chemical Vapor Deposition)；
真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等常称为物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PVD法）。
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8楼2009-05-04 11:09:01
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