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gryphon

[交流] 【请教】真空镀膜方法包括哪几种?

书上说,光学薄膜几乎都采用真空镀膜方法,真空镀膜方法具体包括哪几种呢?是不是仅物理气相沉积(PVD)方法
谢谢赐教!

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:17 ]
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师

★ ★ ★
ufoer(金币+3,VIP+0):欢迎老师指点!^_^ 4-26 14:24
化学方法:CVD,热生长,LB膜法等等,当然CVD还可以分成好几类
物理方法:主要是PVD方法,包括真空蒸发,溅射镀膜,离子镀膜,还可以把分子束外延(MBE)也归进来
非专业人士,如有不妥,谅解
这个家伙很懒,什么也没有留下
5楼2008-05-07 14:05:23
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查看全部 8 个回答

everchan

木虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):这是最基本的分类 4-26 14:24
There are two main categories:
PVD (evaporate, sputtering...)
CVD (PCVD, MOCVD...)
2楼2008-05-06 21:20:33
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gryphon

Are you sure?
3楼2008-05-06 21:22:26
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
pvd cvd(pecvd) 蒸发 溅射 分子束外延 等
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
4楼2008-05-07 08:07:34
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