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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 【请教】真空镀膜方法包括哪几种？
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gryphon

[交流] 【请教】真空镀膜方法包括哪几种？

书上说,光学薄膜几乎都采用真空镀膜方法,真空镀膜方法具体包括哪几种呢?是不是仅物理气相沉积(PVD)方法
谢谢赐教！

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:17 ]
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1楼 2008-05-06 21:15:50
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ibanboo

银虫 (小有名气)
★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
真空镀膜基本上分两大类：化学气相沉积和物理气相沉积。
化学气相沉积是一种化学气相生长法，简称CVD(Chemical Vapor Deposition)；
真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等常称为物理气相沉积（Physical Vapor Deposition，简称PVD法）。
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8楼2009-05-04 11:09:01
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查看全部 8 个回答

everchan

木虫 (正式写手)
★
ufoer(金币+1,VIP+0):这是最基本的分类 4-26 14:24
There are two main categories:
PVD (evaporate, sputtering...)
CVD (PCVD, MOCVD...)
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2楼2008-05-06 21:20:33
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gryphon

Are you sure?
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3楼2008-05-06 21:22:26
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三
★
ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
pvd cvd（pecvd） 蒸发 溅射 分子束外延 等
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心怀感恩，凡人与事都值得我感恩一番。
4楼2008-05-07 08:07:34
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