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gryphon

[交流] 【请教】真空镀膜方法包括哪几种?

书上说,光学薄膜几乎都采用真空镀膜方法,真空镀膜方法具体包括哪几种呢?是不是仅物理气相沉积(PVD)方法
谢谢赐教!

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-5-7 at 13:17 ]
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ibanboo

银虫 (小有名气)

★ ★
ufoer(金币+2,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
真空镀膜基本上分两大类:化学气相沉积和物理气相沉积。
化学气相沉积是一种化学气相生长法,简称CVD(Chemical Vapor Deposition);
真空蒸发、溅射镀膜和离子镀等常称为物理气相沉积(Physical Vapor Deposition,简称PVD法)。
8楼2009-05-04 11:09:01
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everchan

木虫 (正式写手)


ufoer(金币+1,VIP+0):这是最基本的分类 4-26 14:24
There are two main categories:
PVD (evaporate, sputtering...)
CVD (PCVD, MOCVD...)
2楼2008-05-06 21:20:33
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gryphon

Are you sure?
3楼2008-05-06 21:22:26
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jamie82

木虫 (著名写手)

一三三


ufoer(金币+1,VIP+0):谢谢交流 5-5 22:08
pvd cvd(pecvd) 蒸发 溅射 分子束外延 等
心怀感恩,凡人与事都值得我感恩一番。
4楼2008-05-07 08:07:34
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