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sspp19911202新虫 (初入文坛)
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[求助]
旋涂法镀膜不平整问题？？在线等！ 已有4人参与
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本人做的是坦酸镥掺Eu的薄膜，课题组以前一直有用溶胶凝胶法加上旋涂镀膜的师兄，溶胶是按照以前师兄的配方配的，按道理说没问题。 旋涂机以前坏过，厂家检查说是漏胶，后来送去修，厂家更换了一个电机，但是镀膜时候还是甩胶不均匀，刚旋涂完就能用肉眼看出很多个同心圆一样的痕迹，烧结之后整块都不平整，那些圆圈所在的地方厚度不一。 旋涂的时间和转速也是按照以前师兄给的方案。难道是哪里的细节出了问题？现在也不知道是溶胶那步有问题还是旋涂那步有问题。有没有大神旋涂时候也碰到过这种情况的？ PS：我是镀在石英基片上，石英基片是分别丙酮、去离子水、酒精超声。然后放烘箱里面烘干，再用擦拭纸擦干净使用的。 |
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