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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 旋涂法镀膜不平整问题？？在线等！
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sspp19911202

新虫 (初入文坛)

[求助] 旋涂法镀膜不平整问题？？在线等！ 已有4人参与

本人做的是坦酸镥掺Eu的薄膜，课题组以前一直有用溶胶凝胶法加上旋涂镀膜的师兄，溶胶是按照以前师兄的配方配的，按道理说没问题。
旋涂机以前坏过，厂家检查说是漏胶，后来送去修，厂家更换了一个电机，但是镀膜时候还是甩胶不均匀，刚旋涂完就能用肉眼看出很多个同心圆一样的痕迹，烧结之后整块都不平整，那些圆圈所在的地方厚度不一。
旋涂的时间和转速也是按照以前师兄给的方案。难道是哪里的细节出了问题？现在也不知道是溶胶那步有问题还是旋涂那步有问题。有没有大神旋涂时候也碰到过这种情况的？
PS：我是镀在石英基片上，石英基片是分别丙酮、去离子水、酒精超声。然后放烘箱里面烘干，再用擦拭纸擦干净使用的。
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1楼 2014-10-14 17:51:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
最好用热吹风机吹干净，尽量少用擦拭纸。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-10-14 18:47:53
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sspp19911202

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-10-14 18:47:53
最好用热吹风机吹干净，尽量少用擦拭纸。

谢谢我明天试一下

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2014-10-14 23:02:22
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by sspp19911202 at 2014-10-14 23:02:22
谢谢我明天试一下
...

风机很脏，会把颗粒全部吹到衬底表面。所以要用氮气吹干。
圆圈的位置，很可能是排斥的颗粒沾污。最好用RCA清洗好的衬底，至少是浓硫酸双氧水清洗的。
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4楼2014-10-15 17:40:58
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
1、衬底要清洗干净，温度最好是室温；
2、溶胶浓度或粘度要降低一些，用溶剂稀释一下；
3、溶胶要保证无明显的颗粒；
4、溶剂最好挥发行不要超过酒精；
5、滴胶后，等待时间不能太短或太长，以15~30s为宜；
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5楼2014-10-17 15:27:09
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kingjin1985

新虫 (著名写手)
我们都是用脱脂棉擦干净，这个效果好
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6楼2014-10-18 09:26:21
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在天涯

铁杆木虫 (知名作家)
用别的溶胶试一试，根据我的经历，有同心圆出现很可能是溶液的问题
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7楼2014-10-29 14:55:55
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lijing-1990

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

同心圆出现可能是因为浆料的浓度太大、挥发性大很快就干燥了
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8楼2014-11-04 10:19:34
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20071213001

新虫 (小有名气)
楼主您好，最近实验室买了一台匀胶机，用来做聚乙烯薄膜。我想问一下这个胶液是咋配的？是不是把聚乙烯买来用有机溶剂溶解就可以了？谢谢~
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9楼2015-05-20 11:51:20
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sspp19911202

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 20071213001 at 2015-05-20 11:51:20
楼主您好，最近实验室买了一台匀胶机，用来做聚乙烯薄膜。我想问一下这个胶液是咋配的？是不是把聚乙烯买来用有机溶剂溶解就可以了？谢谢~

对不起现在才看到，聚乙烯直接溶于有机溶剂就可以旋涂，例如甲苯和丙酮。我以前做过的。旋涂时间长一点，四分钟左右。旋涂完暗室保存让他自然晾干，根据你的薄膜厚度相应的晾干时间有长短。干了之后就是一个好的样品了，同样也是暗室保存。
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10楼2015-11-10 15:54:31
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