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sspp19911202

新虫 (初入文坛)

[求助] 旋涂法镀膜不平整问题??在线等!已有4人参与

本人做的是坦酸镥掺Eu的薄膜,课题组以前一直有用溶胶凝胶法加上旋涂镀膜的师兄,溶胶是按照以前师兄的配方配的,按道理说没问题。
旋涂机以前坏过,厂家检查说是漏胶,后来送去修,厂家更换了一个电机,但是镀膜时候还是甩胶不均匀,刚旋涂完就能用肉眼看出很多个同心圆一样的痕迹,烧结之后整块都不平整,那些圆圈所在的地方厚度不一。
旋涂的时间和转速也是按照以前师兄给的方案。难道是哪里的细节出了问题?现在也不知道是溶胶那步有问题还是旋涂那步有问题。有没有大神旋涂时候也碰到过这种情况的?
PS:我是镀在石英基片上,石英基片是分别丙酮、去离子水、酒精超声。然后放烘箱里面烘干,再用擦拭纸擦干净使用的。
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
最好用热吹风机吹干净,尽量少用擦拭纸。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-10-14 18:47:53
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