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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 三维扫描电镜
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kuailingzi

新虫 (初入文坛)

[求助] 三维扫描电镜已有4人参与

本人现在想对一张纤维滤纸进行重构，然后进行数值模拟。目前想到的方法是用扫描电镜进行三维扫描。请问各位大牛：

1.滤纸厚度有几百μm，扫描电镜可否实现三维扫描？国内哪里有相关仪器？

2.无法直接进行三维扫描，本人想对表面和截面（即厚度方向）进行扫描，那么断面材料要怎么制备？

3.还有一种FIB切片，这个靠谱吗，会不会对纤维造成伤害？滤纸那么厚，这得腐蚀多少层~

4. X-CT也可以直接进行三维扫描，不知道国内哪里有？知情的虫友请告知，谢谢！
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1楼2014-10-13 22:02:39
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fanadam

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

扫描电镜做不了，要用MicroCT，分辨率可达0.7um，无需FIB制样，用一小片纸即可三维重构。
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2楼2015-02-11 08:09:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

3d SEM倒是见过宣传册啥的有写，不过貌似不太好用，也很不主流，FIB不建议，这东西只能切nm级别比较好用，这么厚切一天也切不完嗯，而且一个小时将近上千的费用也负担不起的
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3楼2015-02-11 16:54:23
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temedx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

X-CT？是不是XEM？这个国内不知道哪里有，但分辨率是50 nm吧，不知道是否能解决你的问题。
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Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
4楼2015-02-11 22:08:37
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papaverme

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

1.扫描电镜三维重构至少有两大类，三种形式。
  i) 倾转样品在两至三个视角“拍摄”照片，然后软件运算生成3D表面图像。这样的图像类似与AFM，基本只有表面起伏形貌。对于你的体系，可能只能看到最表面的一层纤维，滤纸内部是不太可能看见的。
ii）采用FIB等离子束方法或者SEM内置超薄切片机，逐层除去样品表面，暴露出内部结构，然后用软件堆叠重构生成3D立体图像。这样的方法可能看到样品整个厚度内的信息，但是，你的体系，由于存在大量空隙，不管是FIB还是切片不太可能严格的除去特定厚度的一层表面。除非你先对样品做包埋填充处理，例如将树脂填入滤纸的孔隙，但这样难免破坏原有孔隙结构。

2.如果想制备滤纸的断面样品，目前最佳的方案是离子抛光，例如Gatan的Ilion 、JEOL的CP等等设备，各家名字可能会有区别，但功能都是用离子束“切割”样品，制备截面。

3.FIB切起来太慢也太贵，你是要“截面”而不是“切片”，没有必要用FIB，而如果要用FIB对你的样品进行“切片”，如前述，还是要包埋。

4.X射线微CT，有标称分辨率最小的到几十纳米的，国内好像还没有用户。通常的都是标称几百纳米的分辨率，实际微米都难保证。看看你需要什么样的分辨率吧。
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5楼2015-02-12 16:04:46
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