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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 离子注入后的光刻胶怎么去除？
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imgod18

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@yswyx

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1楼2014-10-12 18:52:50
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exciting73

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

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胶碳化了，很难去掉。
我们这边有耐高温的光刻胶，离子注入后很容易去除。有兴趣站内联系。
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3楼2014-10-12 23:11:57
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zzycsu
2

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2014-10-12 18:53:07
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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imgod18: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2014-10-20 09:54:18
用氧气plasma去除，6130并不厚，去除还是比较容易的。
至于耐高温的光刻胶，一般是用来做蒸镀时来防止碳化的，用于lift off工艺，和抗离子注入的完全不同。
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4楼2014-10-15 18:06:54
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imgod18

禁虫 (小有名气)
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5楼2014-10-16 09:29:37
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