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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 其它 » 求助各位 关于多孔硅的制备
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甜蜜旅行

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助各位 关于多孔硅的制备 已有1人参与

制备多孔硅的时候用的  lithography methods ，这个模板是什么，应该怎样制备哦？多谢呢
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@yswyx

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1楼 2014-10-09 10:10:32
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片厚度？孔的尺寸？孔的密度？这些都有比较大的影响的。有的时候不一定适合用光刻工艺。
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2楼2014-10-10 11:36:08
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