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甜蜜旅行

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 求助各位关于多孔硅的制备已有1人参与

制备多孔硅的时候用的 lithography methods ，这个模板是什么，应该怎样制备哦？多谢呢

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@yswyx

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1楼 2014-10-09 10:10:32

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lee0803

木虫 (小有名气)

应助: 34 (小学生)
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专业: 半导体微纳机电器件与系统

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

硅片厚度？孔的尺寸？孔的密度？这些都有比较大的影响的。有的时候不一定适合用光刻工艺。

赞一下(1人)

2楼2014-10-10 11:36:08

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