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[求助]
关于扩散泵使用上的求助
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因为真空室需要一个高真空环境，所以想用旋片泵做前级泵，玻璃扩散泵做高真空泵来给真空室抽真空。上网查了些资料，有些地方表示疑惑，请问一下大家 ①真空技术网上说“不能用机械泵将真空室直接抽至低于13.3Pa的压力。因为当压力低于13.3Pa时会引起机械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。如果在机械泵与真空室之间有油气捕集器， 则允许机械泵抽到13.3Pa以下压力。”，扩散泵需要在10pa以下才能开始工作，但机械泵又不能“直接”抽到10pa，那我应该怎么做呢（需要在机械泵与扩散泵之间另外增加一个冷阱吗？）？ ②因为扩散泵使用完之后要真空保存，那是应该先关闭扩散泵加热电源，待泵冷却下来之后再关上两端的阀门，让泵保持在机械泵所抽的粗真空；还是说先关闭两端的阀门，在让泵冷却下来，让泵保持在高真空呢？如果保持在粗真空，因为真空室的气压比扩散泵的气压低，会不会导致下次使用时扩散泵的油污染真空室呢？如果保持在高真空，因为扩散泵的气压比机械泵低，那么会不会导致下次使用时机械泵的油污染扩散泵呢？ |
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2楼2021-01-30 14:25:24
