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薄膜Au用什么溶液去除,除了王水,最好是配方,文献或专利也行
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木虫
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薄膜Au用什么溶液去除,除了王水,最好是配方,文献或专利也行
已有5人参与
小弟刚参加工作,领导要要求我调研一下薄膜Au的腐蚀剂,除了王水以外,文献或专利都行,如果是配方最好,谢谢!!!!
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yswyx
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1楼
2014-09-25 20:48:47
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6楼
:
Originally posted by
lee0803
at 2014-09-28 15:37:35
8um有点厚啊~~
之前的配比可以的,腐蚀时间需要自己摸索了。...
谢谢啊
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7楼
2014-09-28 16:28:09
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云水禅心wtt
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Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究 - 豆丁网
http://www.docin.com/p-462254166.html
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错过是最好的遇见
2楼
2014-09-26 10:02:38
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lee0803
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专业: 半导体微纳机电器件与系统
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
你那个薄膜Au的厚度是多少?AU是蒸镀?溅射?......?不同方法是有区别的。
可以试试 碘:碘化钾:水=3g:10g:50ml
像这种研究还是比较多,Google一下会有好多的。。
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3楼
2014-09-26 10:33:52
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3楼
:
Originally posted by
lee0803
at 2014-09-26 10:33:52
你那个薄膜Au的厚度是多少?AU是蒸镀?溅射?......?不同方法是有区别的。
可以试试 碘:碘化钾:水=3g:10g:50ml
像这种研究还是比较多,Google一下会有好多的。。
大概有8个微米,
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4楼
2014-09-26 18:42:44
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