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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 腐蚀防护 » 薄膜Au用什么溶液去除，除了王水，最好是配方，文献或专利也行
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lpr01

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜Au用什么溶液去除，除了王水，最好是配方，文献或专利也行 已有5人参与

小弟刚参加工作，领导要要求我调研一下薄膜Au的腐蚀剂，除了王水以外，文献或专利都行，如果是配方最好，谢谢！！！！
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@yswyx

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1楼 2014-09-25 20:48:47
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云水禅心wtt

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究 - 豆丁网
http://www.docin.com/p-462254166.html
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错过是最好的遇见
2楼2014-09-26 10:02:38
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你那个薄膜Au的厚度是多少？AU是蒸镀?溅射?......？不同方法是有区别的。
可以试试  碘：碘化钾：水=3g：10g：50ml
像这种研究还是比较多，Google一下会有好多的。。
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3楼2014-09-26 10:33:52
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lpr01

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-26 10:33:52
你那个薄膜Au的厚度是多少？AU是蒸镀?溅射?......？不同方法是有区别的。
可以试试  碘：碘化钾：水=3g：10g：50ml
像这种研究还是比较多，Google一下会有好多的。。

大概有8个微米，

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4楼2014-09-26 18:42:44
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lpr01

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lpr01 at 2014-09-26 18:42:44
大概有8个微米，
...

是电镀的纯金薄膜

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2014-09-26 18:43:17
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lee0803

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by lpr01 at 2014-09-26 18:42:44
大概有8个微米，
...

8um有点厚啊~~
之前的配比可以的，腐蚀时间需要自己摸索了。
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

lpr01
6楼2014-09-28 15:37:35
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lpr01

木虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-28 15:37:35
8um有点厚啊~~
之前的配比可以的，腐蚀时间需要自己摸索了。...

谢谢啊

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7楼2014-09-28 16:28:09
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greatfoxer

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
打磨 抛光均可 很容易的
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知行合一
8楼2014-09-28 17:21:39
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by lpr01 at 2014-09-26 18:43:17
是电镀的纯金薄膜
...

这个厚度，最好不要做腐蚀，而是做选择性电镀。
可以先溅射一层种子层，然后光刻，然后电镀。
最后把种子层腐蚀掉。腐蚀液楼上说的是对的。
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9楼2014-09-28 21:35:17
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
6楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-28 15:37:35
8um有点厚啊~~
之前的配比可以的，腐蚀时间需要自己摸索了。...

果断选择性电镀啊！
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10楼2014-09-28 21:35:37
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