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lpr01

木虫 (小有名气)

[求助] 薄膜Au用什么溶液去除,除了王水,最好是配方,文献或专利也行 已有5人参与

小弟刚参加工作,领导要要求我调研一下薄膜Au的腐蚀剂,除了王水以外,文献或专利都行,如果是配方最好,谢谢!!!!
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by lpr01 at 2014-09-26 18:43:17
是电镀的纯金薄膜
...

这个厚度,最好不要做腐蚀,而是做选择性电镀。
可以先溅射一层种子层,然后光刻,然后电镀。
最后把种子层腐蚀掉。腐蚀液楼上说的是对的。
9楼2014-09-28 21:35:17
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云水禅心wtt

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Al、Au溅射薄膜的剥离技术研究 - 豆丁网
http://www.docin.com/p-462254166.html
错过是最好的遇见
2楼2014-09-26 10:02:38
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你那个薄膜Au的厚度是多少?AU是蒸镀?溅射?......?不同方法是有区别的。
可以试试  碘:碘化钾:水=3g:10g:50ml
像这种研究还是比较多,Google一下会有好多的。。
3楼2014-09-26 10:33:52
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lpr01

木虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by lee0803 at 2014-09-26 10:33:52
你那个薄膜Au的厚度是多少?AU是蒸镀?溅射?......?不同方法是有区别的。
可以试试  碘:碘化钾:水=3g:10g:50ml
像这种研究还是比较多,Google一下会有好多的。。

大概有8个微米,

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2014-09-26 18:42:44
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