应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PEM镀膜系统， 光谱相对强度与反应气体的变化规律？由图有真相
51/1返回列表
查看: 664  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

selfstudy

新虫 (初入文坛)

[交流] PEM镀膜系统， 光谱相对强度与反应气体的变化规律？由图有真相 已有1人参与

对进口的某 4靶非平衡镀膜系统进行分析， 自制了反应气体的控制器。

在调整控制系统算法时发现， 如果反应气体没有按照要求控制住， 光谱相对强度反而是升高的？  请问是这是什么原因？

依照 BERG 分析模型， 反应气体控制不住，如反应气体增加过多，则应该是  工作在化合物模式，则 溅射的靶原子应该少，光谱强度应该低。 实际上是光谱强度增大了。

请看 控制曲线的后半部分， 如果算法不合理， 光谱相对强度反而升高了。 我不知道具体的机理是什么？

PEM镀膜系统， 光谱相对强度与反应气体的变化规律？由图有真相
2014-09-23_164018.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2014-09-23 16:42:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

selfstudy

新虫 (初入文坛)
是不是发错板块了，没有人理我呢。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-23 17:21:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ggtech

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般情况下，溅射出的靶原子浓度只与溅射气体的浓度有关，与反应气体的浓度关系不大；
反应气体的浓度升高，表征该反应气体的原子光谱肯定增强，与化合态/金属态没有关系。
赞一下 回复此楼
gtech
3楼2014-09-24 13:52:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

selfstudy

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by ggtech at 2014-09-24 13:52:16
一般情况下，溅射出的靶原子浓度只与溅射气体的浓度有关，与反应气体的浓度关系不大；
反应气体的浓度升高，表征该反应气体的原子光谱肯定增强，与化合态/金属态没有关系。

谢谢。 终于得到答复了。
1 离子确实由 溅射气体来决定，但是控制时，通入的氩气流量是恒定的；

2 反应气体的多少决定了 溅射模式和光谱强度的。

  控制中能够让光谱强度按照镀膜曲线走。 只是失败的控制案例中，为什么 反应气体即使通到最大，光谱强度还是 达到一个恒定值 85%。 这与 berg的模型不对。

上述图片是我的试验控制曲线，是失败的案例，我只是想知道 原因。

修正后的控制方法，可以保证光谱强度在35~85%间稳定的。
赞一下 回复此楼
4楼2014-09-24 17:43:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

selfstudy

新虫 (初入文坛)
是不是大家不用PEM方式进行镀膜实验啊？？
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-29 08:51:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 selfstudy 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料学学硕080502 337求调剂-一志愿华中科技大学 +4 顺顺顺mr 2026-03-18 5/250 2026-03-21 10:22 by luoyongfeng
[考研] 310求调剂 +3 baibai1314 2026-03-16 3/150 2026-03-21 03:56 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中国石油大学（华东） 本科齐鲁工业大学 +3 石能伟 2026-03-17 3/150 2026-03-21 02:22 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中科技大学，080502，354分求调剂 +5 守候夕阳CF 2026-03-18 5/250 2026-03-21 01:06 by JourneyLucky
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂 +8 吃吃吃才有意义 2026-03-19 8/400 2026-03-21 00:49 by 刘国森
[考研] 22408 344分 求调剂 一志愿 华电计算机技术 +4 solanXXX 2026-03-20 4/200 2026-03-20 23:49 by alg094825
[考研] 321求调剂 +9 何润采123 2026-03-18 11/550 2026-03-20 23:19 by JourneyLucky
[考研] 材料学硕297已过四六级求调剂推荐 +11 adaie 2026-03-19 11/550 2026-03-20 21:30 by laoshidan
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 12/600 2026-03-20 12:25 by lidianxing
[论文投稿] 申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复 10+3 wangf9518 2026-03-17 4/200 2026-03-19 23:55 by babero
[考研] 复试调剂 +4 z1z2z3879 2026-03-14 6/300 2026-03-19 17:18 by fei626-918
[考研] 0703化学调剂 +4 18889395102 2026-03-18 4/200 2026-03-19 16:13 by 30660438
[考研] 材料与化工求调剂 +7 为学666 2026-03-16 7/350 2026-03-19 14:48 by 尽舜尧1
[考研] 化学工程321分求调剂 +15 大米饭！ 2026-03-15 18/900 2026-03-18 14:52 by haxia
[考研] 311求调剂 +11 冬十三 2026-03-15 12/600 2026-03-18 14:36 by 星空星月
[考研] 材料，纺织，生物（0856、0710），化学招生啦 +3 Eember. 2026-03-17 9/450 2026-03-18 10:28 by Eember.
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨； 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] [导师推荐]西南科技大学国防/材料导师推荐 +3 尖角小荷 2026-03-16 6/300 2026-03-16 23:21 by 尖角小荷
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[考研] 085601材料工程315分求调剂 +3 yang_0104 2026-03-15 3/150 2026-03-15 10:58 by peike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭