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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】打开离子泵电源后真空室内会有“辉光”么?

看到前面的帖子里提到  

开离子泵之前应该关闭闸板阀。
然后开启电源。

我尝试这么做,
可是打开电源后发现真空室内竟然出现了光线,类似辉光,电压也升的很慢
请问这是正常的现象么?
(开启离子泵电源时真空室内压强的数量级为 10的-4次方 帕 )

以前我们都是先等到电压升到6000V后才关闸板阀,没有“辉光”出现
心里比较没底,到底是怎么回事呢?
[search]离子泵[/search]

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-4-24 at 08:54 ]
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

很感谢hanwh03的回复.
我们的离子泵的确曾暴露在大气中,装样品时必须打开真空室所以这也是在所难免。

不过我们的离子泵以前的操作方法是:
在不关闭闸板阀的情况下,开启离子泵,这种情况下往往离子泵电压升的比较快,
当电压接近到6000V时, 关闭闸板阀,关闭后电压会变到6000V
抽24至36小时,往往可达到10^-7Pa左右

可是现在我尝试先关闸板阀,再开离子泵,结果就看到了辉光,而且电压升的慢,
比较崩溃的是这么操作,最后的达到的真空度只有10^-6pa数量级

比较纳闷,离子泵之间的差别有这么大么?
B_or_not_2_B,_it's_a_?
8楼2008-05-05 11:11:57
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查看全部 8 个回答

guansong826

铜虫 (小有名气)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
开离子泵的真空度太差了,我在开离子泵的时候是没有看到辉光的,个人觉得不是太正常。通常我开的时候电压上去的很快,我用的是varian产的泵

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-4-24 at 08:55 ]
2楼2008-04-24 08:25:54
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yyzhu027

木虫 (小有名气)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
我也没见过辉光,可能是你的真空太差了,刚开腔的?
3楼2008-04-24 09:48:07
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
真空度不够吗? 10^-4  帕了啊?

那一般要多少才开呢?

印象中好像10-4 帕够了吧
B_or_not_2_B,_it's_a_?
4楼2008-04-24 10:24:14
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