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citylack铁杆木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】打开离子泵电源后真空室内会有“辉光”么？
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看到前面的帖子里提到 开离子泵之前应该关闭闸板阀。 然后开启电源。 我尝试这么做， 可是打开电源后发现真空室内竟然出现了光线，类似辉光，电压也升的很慢 请问这是正常的现象么？ （开启离子泵电源时真空室内压强的数量级为 10的-4次方 帕 ） 以前我们都是先等到电压升到6000V后才关闸板阀，没有“辉光”出现 心里比较没底，到底是怎么回事呢？ [search]离子泵[/search] [ Last edited by lvzhu2007 on 2008-4-24 at 08:54 ] |
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4楼2008-04-24 10:24:14
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lvzhu2007(金币+5,VIP+0):感谢交流～
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10^-4Pa应该是已经足够了， 可能是由于你的离子泵暴露大气或低真空时间太长 离子泵内部吸附了大量的气体 打开离子泵的同时，气体在高压的作用下释放 真空度降低，空气被击穿 建议利用分子泵长时间抽使离子泵内部的气体脱附 或者清洗离子泵 备注：离子泵是高真空的维持抽气泵，抽速一般不大，可以长时间工作，一般的情况下不要暴露大气，如果特殊需要可以充氮气保护，水汽对其有致命的伤害。 一旦暴露大气后要利用分子泵长时间抽使气体脱附，真空度不是衡量能否打开离子泵的条件。真空度是一般测量的是真空室内的，而不是离子泵管道附近的。有没有达到离子泵的工作条件看高压能否上去，上不去就利用分子泵多抽一段时间再重新启动。 切记启动离子泵后要启动离子泵保护，如果不启动，离子泵长时间低气压工作会烧毁离子泵。 如果真空计的示数都上不去就不要怪你的离子泵了，可能是你的真空室在漏气。 个人见解，仅供参考！ |
5楼2008-05-02 19:41:51