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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】打开离子泵电源后真空室内会有“辉光”么?

看到前面的帖子里提到  

开离子泵之前应该关闭闸板阀。
然后开启电源。

我尝试这么做,
可是打开电源后发现真空室内竟然出现了光线,类似辉光,电压也升的很慢
请问这是正常的现象么?
(开启离子泵电源时真空室内压强的数量级为 10的-4次方 帕 )

以前我们都是先等到电压升到6000V后才关闸板阀,没有“辉光”出现
心里比较没底,到底是怎么回事呢?
[search]离子泵[/search]

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-4-24 at 08:54 ]
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B_or_not_2_B,_it's_a_?
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citylack

铁杆木虫 (著名写手)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
真空度不够吗? 10^-4  帕了啊?

那一般要多少才开呢?

印象中好像10-4 帕够了吧
B_or_not_2_B,_it's_a_?
4楼2008-04-24 10:24:14
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guansong826

铜虫 (小有名气)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
开离子泵的真空度太差了,我在开离子泵的时候是没有看到辉光的,个人觉得不是太正常。通常我开的时候电压上去的很快,我用的是varian产的泵

[ Last edited by lvzhu2007 on 2008-4-24 at 08:55 ]
2楼2008-04-24 08:25:54
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yyzhu027

木虫 (小有名气)

★ ★
lvzhu2007(金币+2,VIP+0):感谢交流~
我也没见过辉光,可能是你的真空太差了,刚开腔的?
3楼2008-04-24 09:48:07
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hanwh03

木虫 (小有名气)

★ ★ ★ ★ ★
lvzhu2007(金币+5,VIP+0):感谢交流~
10^-4Pa应该是已经足够了,
可能是由于你的离子泵暴露大气或低真空时间太长
离子泵内部吸附了大量的气体

打开离子泵的同时,气体在高压的作用下释放
真空度降低,空气被击穿

建议利用分子泵长时间抽使离子泵内部的气体脱附
或者清洗离子泵

备注:离子泵是高真空的维持抽气泵,抽速一般不大,可以长时间工作,一般的情况下不要暴露大气,如果特殊需要可以充氮气保护,水汽对其有致命的伤害。
一旦暴露大气后要利用分子泵长时间抽使气体脱附,真空度不是衡量能否打开离子泵的条件。真空度是一般测量的是真空室内的,而不是离子泵管道附近的。有没有达到离子泵的工作条件看高压能否上去,上不去就利用分子泵多抽一段时间再重新启动。
切记启动离子泵后要启动离子泵保护,如果不启动,离子泵长时间低气压工作会烧毁离子泵。
如果真空计的示数都上不去就不要怪你的离子泵了,可能是你的真空室在漏气。

个人见解,仅供参考!
5楼2008-05-02 19:41:51
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