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kevin123581金虫 (正式写手)
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【求助】关于激光PLD系统光学视窗被激光损坏的问题
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大家好，小弟刚开始做激光加工实验，主要方向是激光沉积PLD，但是实验的时候发现些问题： 主要是光学视窗损坏问题。 我用的355nm的固体皮秒激光源，靶材料用的石墨，Si等等材料，在PLD过程中发现， 激光从视窗入射chamber，时间一长，视窗上激光光斑处就出现一白斑，大小和激光光斑大小差不多，功率越高，白斑出现的越快。 一般在5min左右就会有白斑出现了。 清洗视窗白斑还在，虽然肉眼看不大出来，但是当激光照上去的时候很明显一个白点， 视窗用的是thorlabs的， UVFS laser window， 350-450nm范围， 感觉应该没问题的，为什么会出现这种情况呢？ 是因为window不合适还是激光的问题？ 或者其他原因？ 大家做PLD的时候有遇到过类似的情况吗？ 谢谢  全新的视窗， 不同时间白斑的情况（空气中，无物质流影响）  用过已损坏的视窗，激光照射处可见两个明显白斑，内外表面各一个 |
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不好意思，再打扰下。上次的window损坏问题，我重新查了下相关参数，是10J/cm^2, 我的激光4W是14J/CM^2. 问题是 反射镜片或者透射镜片只有5J/CM^2的损伤阀值，4年了也没坏过，这个window数值还大一些5-10就有小损伤了， 我会在下面贴下图。 我把window放到了空气中同样用激光照射，也会出现小的白色斑点，而且好像双面都有（也有可能是一面有，然后反射到第二面的，但是我觉得这个可能性很小）。 现在真是纠结呢， window为什么那么容易出现问题呢？ 有可能是coating材料的问题么？ 但是参数上标示对应的AR coating都是给的相应的波长的，也就是确实是给355nm的激光的AR coating。 |
10楼2014-09-26 14:34:38
