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kevin123581

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[交流] 【求助】关于激光PLD系统光学视窗被激光损坏的问题

大家好，小弟刚开始做激光加工实验，主要方向是激光沉积PLD，但是实验的时候发现些问题：

主要是光学视窗损坏问题。我用的355nm的固体皮秒激光源，靶材料用的石墨，Si等等材料，在PLD过程中发现，激光从视窗入射chamber，时间一长，视窗上激光光斑处就出现一白斑，大小和激光光斑大小差不多，功率越高，白斑出现的越快。
一般在5min左右就会有白斑出现了。
清洗视窗白斑还在，虽然肉眼看不大出来，但是当激光照上去的时候很明显一个白点，视窗用的是thorlabs的， UVFS laser window， 350-450nm范围，感觉应该没问题的，为什么会出现这种情况呢？

是因为window不合适还是激光的问题？或者其他原因？

大家做PLD的时候有遇到过类似的情况吗？谢谢

全新的视窗，不同时间白斑的情况（空气中，无物质流影响）

用过已损坏的视窗，激光照射处可见两个明显白斑，内外表面各一个

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1楼 2014-09-18 15:04:22

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kevin123581

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引用回帖:

8楼: Originally posted by 折戟温侯 at 2014-09-22 10:07:05
脉冲宽度肯定有影响。一般损伤阈值的测试都是用纳秒光测的，只能做为参考。而且，波长越短，玻璃越容易损伤。

你的问题，你可以找一块窗片，放大空气中，用激光打，看看打几分钟是不是也出问题了。如果是，说明 ...

不好意思，再打扰下。上次的window损坏问题，我重新查了下相关参数，是10J/cm^2,
我的激光4W是14J/CM^2.
问题是反射镜片或者透射镜片只有5J/CM^2的损伤阀值，4年了也没坏过，这个window数值还大一些5-10就有小损伤了，我会在下面贴下图。我把window放到了空气中同样用激光照射，也会出现小的白色斑点，而且好像双面都有（也有可能是一面有，然后反射到第二面的，但是我觉得这个可能性很小）。
现在真是纠结呢， window为什么那么容易出现问题呢？有可能是coating材料的问题么？但是参数上标示对应的AR coating都是给的相应的波长的，也就是确实是给355nm的激光的AR coating。