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kevin123581

金虫 (正式写手)

[交流] 【求助】关于激光PLD系统光学视窗被激光损坏的问题

大家好,小弟刚开始做激光加工实验,主要方向是激光沉积PLD,但是实验的时候发现些问题:

主要是光学视窗损坏问题。 我用的355nm的固体皮秒激光源,靶材料用的石墨,Si等等材料,在PLD过程中发现, 激光从视窗入射chamber,时间一长,视窗上激光光斑处就出现一白斑,大小和激光光斑大小差不多,功率越高,白斑出现的越快。
一般在5min左右就会有白斑出现了。
清洗视窗白斑还在,虽然肉眼看不大出来,但是当激光照上去的时候很明显一个白点,  视窗用的是thorlabs的, UVFS laser window, 350-450nm范围, 感觉应该没问题的,为什么会出现这种情况呢?

是因为window不合适还是激光的问题?  或者其他原因?

大家做PLD的时候有遇到过类似的情况吗?   谢谢
【求助】关于激光PLD系统光学视窗被激光损坏的问题
全新的视窗, 不同时间白斑的情况(空气中,无物质流影响)


【求助】关于激光PLD系统光学视窗被激光损坏的问题-1
用过已损坏的视窗,激光照射处可见两个明显白斑,内外表面各一个
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折戟温侯

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
建议支查一下窗片材料的损伤阈值。

还有一个就是,不知道你们做实验的时候真空腔内样品会不会附着在窗片上?如果有东西附着在窗片上,窗片就容易打坏。
智慧的心
3楼2014-09-18 23:29:36
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再见理想35

木虫 (正式写手)

★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
kevin123581: 金币+2 2014-09-22 15:45:58
如果斑点在窗体内侧,可能是激光打到靶上,喷射出来的粒子沉积到窗体内侧会产生斑点。
4楼2014-09-19 09:55:31
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 折戟温侯 at 2014-09-18 23:29:36
建议支查一下窗片材料的损伤阈值。

还有一个就是,不知道你们做实验的时候真空腔内样品会不会附着在窗片上?如果有东西附着在窗片上,窗片就容易打坏。

等离子体被打出来,应该是会有附着的,但是我没想到会这么厉害。很短时间就损伤了,那试验后期基本就是不可控的了。

窗片材料的损伤阀值是找供应商要还是需要自己测呢? 新手,不是很懂 谢谢
5楼2014-09-19 12:56:28
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kevin123581

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 再见理想35 at 2014-09-19 09:55:31
如果斑点在窗体内侧,可能是激光打到靶上,喷射出来的粒子沉积到窗体内侧会产生斑点。

恩,肯定有这个原因,可有方法消除这种影响呢?  谢谢
6楼2014-09-19 12:57:08
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