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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 想做一个用如图的镂空结构，请问有没有什么好方法
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匿名

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1楼2014-09-16 16:16:20
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
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3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板，金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

聚合物，金属，硅，氮化硅，氧化硅，都可以做到。关键看你拿来干什么用。
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5楼2014-09-16 21:42:28
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么基底？沉积什么？多大深度？多大面积？
这样子的至少光刻是可以的，但是比较贵~~
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卢瑟·西门罗夫同志
2楼2014-09-16 16:41:48
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匿名

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3楼2014-09-16 19:34:52
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板，金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

我们以前都是在硅片上沉积金属电极，大概就是这样子的结构和尺度。
流程是：先制作掩膜板，把电极尺寸画好，【然后在硅片上涂光刻胶，再用光通过掩膜板照到硅片上，这样透光的地方（电极位置）的光刻胶就分解了，不透光位置的光刻胶还在；然后在硅片上沉积金属电极，此时透光位置的金属直接沉积在硅片上，不透光位置的金属沉积在光刻胶上，然后再用溶剂洗掉光刻胶】，这样就实现了在硅片上沉积电极~~
掩膜板制备好后，【】中的工作我们是交给清华纳米中心来做的，效果很好，就是贵~~
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卢瑟·西门罗夫同志
4楼2014-09-16 19:49:05
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