应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 想做一个用如图的镂空结构，请问有没有什么好方法
71/1返回列表
查看: 1389  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

匿名

本帖仅楼主可见

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-09-16 16:16:20
已阅   同方向广播   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   删除   查看我的主页

CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么基底？沉积什么？多大深度？多大面积？
这样子的至少光刻是可以的，但是比较贵~~
赞一下 回复此楼
卢瑟·西门罗夫同志
2楼2014-09-16 16:41:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

本帖仅楼主可见
赞一下
3楼2014-09-16 19:34:52
已阅   申请MN-EPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

CruiserD

至尊木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板，金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

我们以前都是在硅片上沉积金属电极，大概就是这样子的结构和尺度。
流程是：先制作掩膜板，把电极尺寸画好，【然后在硅片上涂光刻胶，再用光通过掩膜板照到硅片上，这样透光的地方（电极位置）的光刻胶就分解了，不透光位置的光刻胶还在；然后在硅片上沉积金属电极，此时透光位置的金属直接沉积在硅片上，不透光位置的金属沉积在光刻胶上，然后再用溶剂洗掉光刻胶】，这样就实现了在硅片上沉积电极~~
掩膜板制备好后，【】中的工作我们是交给清华纳米中心来做的，效果很好，就是贵~~
赞一下 回复此楼
卢瑟·西门罗夫同志
4楼2014-09-16 19:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板，金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

聚合物，金属，硅，氮化硅，氧化硅，都可以做到。关键看你拿来干什么用。
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-16 21:42:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你是要镂空还是透光？？这个差别可大了
赞一下 回复此楼
6楼2014-09-18 08:35:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
尺寸太大，光刻做不了。丝网印刷可否？
赞一下 回复此楼
7楼2014-09-18 17:56:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 nejx 的主题更新
71/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭