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匿名

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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
什么基底?沉积什么?多大深度?多大面积?
这样子的至少光刻是可以的,但是比较贵~~
卢瑟·西门罗夫同志
2楼2014-09-16 16:41:48
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匿名

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3楼2014-09-16 19:34:52
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CruiserD

至尊木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板,金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

我们以前都是在硅片上沉积金属电极,大概就是这样子的结构和尺度。
流程是:先制作掩膜板,把电极尺寸画好,【然后在硅片上涂光刻胶,再用光通过掩膜板照到硅片上,这样透光的地方(电极位置)的光刻胶就分解了,不透光位置的光刻胶还在;然后在硅片上沉积金属电极,此时透光位置的金属直接沉积在硅片上,不透光位置的金属沉积在光刻胶上,然后再用溶剂洗掉光刻胶】,这样就实现了在硅片上沉积电极~~
掩膜板制备好后,【】中的工作我们是交给清华纳米中心来做的,效果很好,就是贵~~
卢瑟·西门罗夫同志
4楼2014-09-16 19:49:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by nejx at 2014-09-16 19:34:52
希望是聚合物做模板,金属或者其他如果能做到这种尺度也可以
...

聚合物,金属,硅,氮化硅,氧化硅,都可以做到。关键看你拿来干什么用。
5楼2014-09-16 21:42:28
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babyoflion

金虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你是要镂空还是透光??这个差别可大了
6楼2014-09-18 08:35:53
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yes_zhu

铁杆木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
尺寸太大,光刻做不了。丝网印刷可否?
7楼2014-09-18 17:56:05
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