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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » Si化学清洗以及缓冲液的原理与掺杂量的关系~~~
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小雨南

银虫 (小有名气)

[交流] Si化学清洗以及缓冲液的原理与掺杂量的关系~~~ 已有4人参与

最近处理了一些样品，结果不是很理想。
  我们清洗Si片的手顺是 先用超纯水洗一下，
  然后 浓硫酸；双氧水—4；1 清洗3min
  超纯水洗净
  再一次 浓硫酸；双氧水—4；1 清洗3min
  再次洗净
  10min超纯水洗净
  2%HF酸 10秒
  洗净
------------------------------------------------
  以上貌似叫做SPM洗净，大家都这么做属于常规手顺。
  以下是我特别需要制备原子级别平坦度需要的40%NH4F，已经尽力去掉溶存氧气了。

  问题在于这里，好多论文里没有详细的提到用的什么规格的Si片，我使用的是CZ法制的 N型 磷掺杂 1-5欧/cm，掺杂量很大
  是否对etch 有很大影响呢？直觉告诉我影响应该很大很大滴~~~
  
  还有就是etch 的原理 以及SPM洗净的原理~~~不是很清楚。有什么文献可以分享下嘛~~~~万分感激下啦~~~~

PS 软件跟设备的单位不太一样 XY范围 1V＝15.0nm  高度Z 1V＝1.82nm

Si化学清洗以及缓冲液的原理与掺杂量的关系~~~
Si100面 SPM洗净后 NH4F 6min处理。RMS是4.1左右


Si化学清洗以及缓冲液的原理与掺杂量的关系~~~-1
Si111面 SPM洗净后 NH4F 6min处理。RMS是0.76左右
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w812548112

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1楼 2014-09-13 12:55:22
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山之巅322

铁杆木虫 (著名写手)
★
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沙发！我是来顶帖子的，因为我不是这个专业！^_^

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2楼2014-09-13 13:33:45
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w812548112

禁虫 (著名写手)
送红花一朵
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3楼2014-09-13 18:02:07
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Saintchemist

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
NH4F洗（111），HF洗（100）
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4楼2014-09-14 19:23:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
SPM对有机粘污是起作用的，对表面形貌没有什么影响，如果说有影响，也只是进一步增加原生氧化层的厚度。

而你所谓的原子级别平坦度的表面，我不时候很理解。貌似你是要通过腐蚀来得到。但我想，前提条件是wafer本身的roughness要极小。而在半导体行业，<0.5nm的片子我们称之为超平片，是有的卖的。
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5楼2014-09-16 22:18:37
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小雨南

银虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-16 23:18:37
SPM对有机粘污是起作用的，对表面形貌没有什么影响，如果说有影响，也只是进一步增加原生氧化层的厚度。

而你所谓的原子级别平坦度的表面，我不时候很理解。貌似你是要通过腐蚀来得到。但我想，前提条件是wafer本 ...

嗯~~~~~~~的确是哦~~~不知道硅片本身的平坦度是多少~~~先测一下比较好吧~~~
的确我看论文中 都简单的说了一嘴经过特殊抛光的硅片 然后怎么怎么滴~~~~
貌似用NH4F溶液可以制备原子级别平坦的Si111面（所谓原子平坦就是RMS在0.2nm左右貌似）
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6楼2014-09-19 10:04:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-09-19 10:04:35
嗯~~~~~~~的确是哦~~~不知道硅片本身的平坦度是多少~~~先测一下比较好吧~~~
的确我看论文中 都简单的说了一嘴经过特殊抛光的硅片 然后怎么怎么滴~~~~
貌似用NH4F溶液可以制备原子级别平坦的Si111面（所谓原子平坦 ...

我手上有一些抛光水平Ra<0.5nm的硅片，100晶向的，111晶向的有Ra<0.7nm这个水平的。如果你需要我可以送给你一些。关于硅片的知识，我们也可以互相交流。
我对你做的课题非常感兴趣，因为所谓的原子平坦对我们做的项目非常重要。
而且我的兴趣不仅仅在硅材料的原子平坦上，金属材料的原子平坦也非常有意义，不知道你是否了解这方面的信息？
你有没有看我给你发的短消息？
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7楼2014-09-19 11:45:04
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小雨南

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-19 12:45:04
我手上有一些抛光水平Ra<0.5nm的硅片，100晶向的，111晶向的有Ra<0.7nm这个水平的。如果你需要我可以送给你一些。关于硅片的知识，我们也可以互相交流。
我对你做的课题非常感兴趣，因为所谓的原子平坦对我 ...

不过我们并不需要大面积的平坦度 只要一点点就可以了~~
关于硅片的知识我就是个小白啊~~~~以后多多向您请教~~~
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8楼2014-09-19 12:28:38
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