24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 4393  |  回复: 1

木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 请问,衬底和光刻胶之间的粘附力与亲水性或疏水性的关系是怎样的 已有1人参与

大家好!请问,衬底和光刻胶之间的粘附力与衬底表面的亲水性或疏水性的关系是怎样的?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般来说,光刻胶都是溶剂型的,最常用的溶剂是PGMEA,是一种不亲水的溶剂。所以衬底表面的亲水性,对光刻胶的粘附性有很大的影响。亲水性的表面光刻胶很难黏附,需要另外涂敷增粘剂来改变表面状态。相反,疏水表面就更容易涂敷光刻胶。
衬底不同,表现会很不一样。
比如硅片,表面有原生氧化层,表现亲水性,光刻胶粘附性差,需要涂增粘剂。
而金属表面,即使有金属氧化物,也表现出一定的疏水性,比如Au,Ni等等,和光刻胶的附着力就很好。

这个并不是绝对的,因为光刻胶种类很多,甚至也有水溶性的光刻胶。
2楼2014-09-12 12:11:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 木星人士 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291求调剂 +7 关忆北. 2026-04-11 7/350 2026-04-11 23:48 by baobaoye
[考研] 283求调剂 086004考英二数二 +17 那个噜子 2026-04-10 18/900 2026-04-11 16:27 by 明月此时有
[考研] 300分求调剂 (085501机械专硕,本科扬大) +8 xu@841019 2026-04-11 8/400 2026-04-11 10:46 by qingpingzhu
[考研] 生物学调剂 +8 小冉要努力 2026-04-10 9/450 2026-04-11 10:22 by wwj2530616
[考研] 求调剂 +13 雪逢冬 2026-04-10 13/650 2026-04-11 09:58 by 猪会飞
[考研] 本科211 工科085400 280分求调剂 可跨专业 +11 LZH(等待调剂中 2026-04-10 11/550 2026-04-11 08:39 by zhq0425
[考研] 本科南方医科大学 一志愿985 药学学硕284分 求调剂 +4 弱水听文 2026-04-09 4/200 2026-04-10 22:01 by doctff
[考研] 本科西工大 324求调剂 +4 wysyjs25 2026-04-10 4/200 2026-04-10 20:00 by 来看流星雨10
[考研] 求调剂 +5 不会飞的鱼@ 2026-04-10 5/250 2026-04-10 19:07 by chemisry
[考研] 293调剂 +25 yj1221 2026-04-08 26/1300 2026-04-10 15:02 by 柴小白
[考研] 344求调剂 +7 丶风雪夜归人丶 2026-04-09 7/350 2026-04-10 12:05 by pengliang8036
[考研] 085601初试330分找调剂 +10 流心奶黄包l 2026-04-09 10/500 2026-04-10 08:14 by Sammy2
[考研] 085600材料与化工专硕329 求调剂 +24 额cc 2026-04-06 25/1250 2026-04-09 16:01 by wp06
[考研] 材料307分求大佬组收留 +17 Hll胡 2026-04-07 17/850 2026-04-09 10:53 by liuhuiying09
[考研] 求调剂 +7 chenxrlkx 2026-04-05 9/450 2026-04-09 09:04 by wj165256
[考研] 304求调剂 +10 素年祭语 2026-04-06 17/850 2026-04-08 09:05 by 蓝云思雨
[考研] 323求调剂 +3 林zlu 2026-04-07 4/200 2026-04-07 23:21 by lbsjt
[考研] 344求调剂 +11 魏子per 2026-04-07 11/550 2026-04-07 23:01 by JourneyLucky
[考研] 材料调剂 +17 小刘同学吖吖 2026-04-06 18/900 2026-04-07 11:41 by 诗与自由
[考研] 071000生物学调剂 +7 拉提桃 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:55 by 52305043001
信息提示
请填处理意见