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[求助] 请问，衬底和光刻胶之间的粘附力与亲水性或疏水性的关系是怎样的已有1人参与

大家好！请问，衬底和光刻胶之间的粘附力与衬底表面的亲水性或疏水性的关系是怎样的？

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1楼 2014-09-11 12:23:45

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yswyx

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【答案】应助回帖

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一般来说，光刻胶都是溶剂型的，最常用的溶剂是PGMEA，是一种不亲水的溶剂。所以衬底表面的亲水性，对光刻胶的粘附性有很大的影响。亲水性的表面光刻胶很难黏附，需要另外涂敷增粘剂来改变表面状态。相反，疏水表面就更容易涂敷光刻胶。
衬底不同，表现会很不一样。
比如硅片，表面有原生氧化层，表现亲水性，光刻胶粘附性差，需要涂增粘剂。
而金属表面，即使有金属氧化物，也表现出一定的疏水性，比如Au，Ni等等，和光刻胶的附着力就很好。

这个并不是绝对的，因为光刻胶种类很多，甚至也有水溶性的光刻胶。

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