| 查看: 1292 | 回复: 3 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
请问 哪些正性光刻胶分辨率能达到 30nm, 3170系列里面有吗，求推荐 已有2人参与
|
|||
大家好，最近刚从理论转到实验，对光刻胶不是很了解。请问 哪些正性光刻胶分辨率能达到 30nm, 3170系列里面有吗，求推荐。谢谢 |
回复此楼
3楼2014-09-15 20:37:42
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-09-12 12:22:14
4楼2014-09-17 20:15:49
30