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木星人士

新虫 (正式写手)

[求助] 请问 哪些正性光刻胶分辨率能达到 30nm, 3170系列里面有吗,求推荐已有2人参与

大家好,最近刚从理论转到实验,对光刻胶不是很了解。请问 哪些正性光刻胶分辨率能达到 30nm, 3170系列里面有吗,求推荐。谢谢
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
30nm必须是电子束光刻,所以必须是电子束光刻胶,没有听过谁家有3170这一款电子束光刻胶。
日本丸红的ZEP-520
但是非常昂贵
可以找苏州锐材半导体购买
2楼2014-09-12 12:22:14
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木星人士

新虫 (正式写手)

顶,请问3170 1.5光刻胶折射率
3楼2014-09-15 20:37:42
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
我这里有10ML替代ZEP520样品,需要的话请联系我。

金库铭微
4楼2014-09-17 20:15:49
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