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feyme

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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在线:
虫号: 432268
注册: 2007-08-12
专业: 材料

[交流] [请教]如何精确测定铜表面氧化膜的厚度

RT，如果有测定方法，请牛人不吝赐教

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1楼 2008-04-16 23:44:19

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feyme

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 432268
注册: 2007-08-12
专业: 材料

★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢给予回答，希望你实验顺利

经查文献，问题已经初步解决
之前考虑用XPS的，但是老板说亚铜离子和氧的峰有重叠
Cross Section的方法很不可行的，表面膜厚可能只有几nm到几十nm
文献上写的是用库伦法测定膜厚

赞一下(10人)

7楼2008-04-17 21:48:57

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查看全部 9 个回答

abdulah

木虫 (著名写手)

应助: 4 (幼儿园)
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红花: 1
帖子: 1650
在线: 332.6小时
虫号: 439249
注册: 2007-10-10
性别: GG
专业: 机械摩擦学与表面技术

顶起来，我也想知道啊

选择纠结症

2楼2008-04-17 09:41:26

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fairchildsemi

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 316.3
红花: 1
帖子: 98
在线:
虫号: 421022
注册: 2007-07-14
性别: GG
专业: 半导体材料

Me too,请牛人指点啊

这家伙不懒，忙着试验，没留下什么东西

3楼2008-04-17 16:21:36

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gggarnet

金虫 (正式写手)

应助: 7 (幼儿园)
金币: 3189.5
散金: 40
红花: 4
帖子: 762
在线: 193.7小时
虫号: 270632
注册: 2006-08-06
性别: MM
专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶

★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢回答，欢迎来到材料板

能否用XPS，按深度测，可以测出nm数量级的成分变化。好像有报道用XPS测Al的氧化膜的厚度问题

赞一下(10人)

4楼2008-04-17 17:12:00

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