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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » [请教]如何精确测定铜表面氧化膜的厚度
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feyme

新虫 (初入文坛)

[交流] [请教]如何精确测定铜表面氧化膜的厚度

RT，如果有测定方法，请牛人不吝赐教
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1楼 2008-04-16 23:44:19
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abdulah

木虫 (著名写手)
顶起来，我也想知道啊
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选择纠结症
2楼2008-04-17 09:41:26
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fairchildsemi

银虫 (小有名气)
Me too,请牛人指点啊
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这家伙不懒，忙着试验，没留下什么东西
3楼2008-04-17 16:21:36
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gggarnet

金虫 (正式写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢回答，欢迎来到材料板
能否用XPS，按深度测，可以测出nm数量级的成分变化。好像有报道用XPS测Al的氧化膜的厚度问题
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4楼2008-04-17 17:12:00
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super7

木虫 (著名写手)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢提供信息
树脂镶嵌后，研磨断面，电镜下观察，只要倍率足够高就能测出来。
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5楼2008-04-17 17:22:50
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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)
也可以使用ellipsometry，测量之后模拟数据，得出厚度以及光学常数！
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6楼2008-04-17 18:48:36
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feyme

新虫 (初入文坛)
★
SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢给予回答，希望你实验顺利
经查文献，问题已经初步解决
之前考虑用XPS的，但是老板说亚铜离子和氧的峰有重叠
Cross Section的方法很不可行的，表面膜厚可能只有几nm到几十nm
文献上写的是用库伦法测定膜厚
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7楼2008-04-17 21:48:57
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enquan123

金虫 (著名写手)
可不可以通过对光的折射率和反射率来册呢?
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No matter what I do,I always forget to forget you...
8楼2008-04-17 22:15:10
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feyme

新虫 (初入文坛)
Cu 对光应该有强烈的吸收
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9楼2008-04-18 10:41:54
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