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feyme

新虫 (初入文坛)

[交流] [请教]如何精确测定铜表面氧化膜的厚度

RT,如果有测定方法,请牛人不吝赐教
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abdulah

木虫 (著名写手)

顶起来,我也想知道啊
选择纠结症
2楼2008-04-17 09:41:26
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fairchildsemi

银虫 (小有名气)

Me too,请牛人指点啊
这家伙不懒,忙着试验,没留下什么东西
3楼2008-04-17 16:21:36
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gggarnet

金虫 (正式写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢回答,欢迎来到材料板
能否用XPS,按深度测,可以测出nm数量级的成分变化。好像有报道用XPS测Al的氧化膜的厚度问题
4楼2008-04-17 17:12:00
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super7

木虫 (著名写手)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢提供信息
树脂镶嵌后,研磨断面,电镜下观察,只要倍率足够高就能测出来。
5楼2008-04-17 17:22:50
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pinguo

铁杆木虫 (著名写手)

也可以使用ellipsometry,测量之后模拟数据,得出厚度以及光学常数!
6楼2008-04-17 18:48:36
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feyme

新虫 (初入文坛)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢给予回答,希望你实验顺利
经查文献,问题已经初步解决
之前考虑用XPS的,但是老板说亚铜离子和氧的峰有重叠
Cross Section的方法很不可行的,表面膜厚可能只有几nm到几十nm
文献上写的是用库伦法测定膜厚
7楼2008-04-17 21:48:57
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enquan123

金虫 (著名写手)

可不可以通过对光的折射率和反射率来册呢?
No matter what I do,I always forget to forget you...
8楼2008-04-17 22:15:10
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feyme

新虫 (初入文坛)

Cu 对光应该有强烈的吸收
9楼2008-04-18 10:41:54
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