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SOI 的顶层硅的薄化问题 已有1人参与
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问各位虫友： 1. 利用横向生长技术制备出来的 SOI ，其顶层的 Si 可以最多薄化到多少 ？ 能不能减薄到 50n 一下 ？ 2. 目前 SOI 制备用了好多复杂困难不易操作的技术，如注氧隔离，smart-cut等等，他们为什么不用横向生长呢？ 不必详细，只求大概！  |
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